河北凈化車間如何控制車間中的濕度？

潔凈室的濕度關鍵是依據加工工藝標準來確定的，但在考慮加工工藝規定的標準下，應充分考慮人員的舒適感。隨之空氣潔凈度要求的提升，出現了加工工藝對溫度濕度的規定也愈來愈嚴。總體標準看，因為生產加工精密度愈來愈細致，因此對溫度起伏范疇的規定愈來愈小。比如在大規模集成電路生產的光刻曝光加工工藝中，做為掩膜板原材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差規定愈來愈小。直徑100 um的硅片，溫度升高1度，就造成了0.24um線形澎漲，因此務必有±0.1度的控溫，另外環境濕度值通常較低，由于人流汗之后，對產品將有污染，尤其是怕鈉的半導體材料生產車間，這類車間不宜超出25度。